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[新闻图片]尼康曝光设备: 第4季度开始销售！尼康发布ArF曝光设备
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上一张 | [简介] 据悉，尼康日前正式宣布，开发出了开口数（NA）为1.30的液浸ArF曝光设备“NSR-S610C”，将于2006年第4季度开始销售。分辨率为45nm，可用于半间距45nm的内存和32nm工艺逻辑LSI的量产。该公司过去曾介绍说将于2006年下半年供应NSR-S610C，看来其开发工作基本符合预定计划。这款NA1.30的曝光设备采用由... |
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[新闻图片]尼康曝光设备: 第4季度开始销售！尼康发布ArF曝光设备 |
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